螺杆真空泵

抽速范围：50-1500m³/h
入口温度：0℃~100℃
入口真空度：1pa~100000pa（A）
密封：复合密封、机械密封
材质：HT、双相不锈钢、哈氏合金、哈氏合金图层、非金属图层

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产品描述

纳仕特LGB螺杆真空泵 | 干式无油洁净真空 | 半导体光伏锂电方案

纳仕特真空泵设备（上海）有限公司

选型咨询 133-1168-9375

LGB螺杆真空泵
干式无油·洁净真空

极限真空5Pa，抽速30~400 L/s，半导体/光伏/锂电/食品医药首选

5 Pa

极限真空

400

最大抽速 L/s

24h

选型响应

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工程师1对1匹配 · 24h内回复

发工况，我们帮你选 →

洁净度要求 / 抽速 / 腐蚀性气体 — 知道多少写多少

🛡️

极限真空

5 Pa

0.05 mbar 高真空区域

⚙️

抽速范围

30 ~ 400

L/s（100~1440 m³/h）

💧

干式无油

零油污染

无废油·免换油

💰

替代进口

性能对标进口

成本降低40%

油污染和频繁维护，正在拖垮你的产线

⚠️ 油雾污染产品

油旋片泵返油导致晶圆、药品、食品被污染，良率下降

⚠️ 废油处理成本高

频繁换油、废油危废处理，环保合规成本持续增加

⚠️ 维护停机损失大

油泵需定期换油保养，停机影响连续生产工艺

我们的工程师会根据你的洁净需求做三项分析： ① 工艺洁净度等级确认（是否零容忍油污染） ② 腐蚀性/可凝性气体成分分析 ③ 抽速与真空度匹配计算，推荐水冷/过滤配置

🔵 实际应用场景

💻

半导体电子

晶圆刻蚀、薄膜沉积、封装测试、Load Lock

☀️

光伏新能源

PECVD、层压、组件生产、硅片拉晶

🔋

锂电制造

注液、干燥、封装、极片涂布真空

💊

食品医药

冻干、包装、灭菌、蒸馏提纯

🔵 LGB螺杆真空泵｜干式运行｜适用于洁净真空工况

变螺距螺杆设计，抽气效率高 · 无油无水运行，彻底杜绝污染 · 可抽除含粉尘/可凝性气体工况

✅ 干式无油运行，零油污染，满足洁净工艺要求
✅ 变螺距螺杆转子，抽气效率高，能耗低
✅ 可抽除含少量粉尘和可凝性气体的复杂工况
✅ 无废油产生，免换油维护，降低环保成本
✅ 水冷设计，散热稳定，适应长时间连续运行
✅ 结构紧凑，占地面积小，安装方便

📞 快速选型咨询

133-1168-9375

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🔵 常见问题，我们经常遇到

❓ 油泵污染产品，良率上不去？

LGB螺杆泵干式无油运行，从根本上杜绝油雾污染

❓ 废油处理成本高，环保压力大？

无油设计零废油排放，省去危废处理费用和换油停机

❓ 工艺气体含粉尘或蒸汽，油泵易坏？

螺杆泵可配置粉尘过滤和气体吹扫，适应复杂工况

❓ 进口干泵价格太高，预算有限？

国产LGB性能对标进口，采购成本降低30%-50%

🔵 为什么客户选择LGB系列

🌿

零污染

干式无油洁净真空

🔧

免维护

无换油保养周期长

💰

低成本

省去废油处理费用

⚡

高效率

变螺距抽气效率高

我们的选型流程，让你买得放心

接收工况

你发来洁净度要求、气体成分、抽速需求

分析计算

工程师判断是否需要过滤/吹扫/冷却配置

方案输出

给你详细的选型建议、系统配置和报价

售后支持

安装调试+操作培训+定期巡检

技术参数 — LGB系列干式螺杆真空泵

产品型号	抽速 (m³/h)	抽速 (L/s)	极限真空 (Pa)	极限真空 (mbar)	电机功率 (kW)	转速 (RPM)	冷却水量 (L/min)	重量 (kg)
LGB30	100	30	5	0.05	4	2900	10	200
LGB50	180	50	5	0.05	5.5	2900	10	295
LGB70	250	70	5	0.05	5.5	2900	10	295
LGB110	400	110	5	0.05	7.5	2900	12	350
LGB150	540	150	5	0.05	15	2900	12	520
LGB200	720	200	5	0.05	18.5	2900	12	520
LGB300	1080	300	5	0.05	22	2900	14	850
LGB400	1440	400	5	0.05	30	2900	14	850

电源：380V/50Hz · 工作介质：洁净空气/惰性气体/含少量粉尘或蒸汽的混合气体 · 环境温度：5~40℃ · 标配气体吹扫接口 · 可配粉尘过滤器/冷凝器

工况适用配置

可选配件与系统

他们也是先发了工况，我们出的方案

某半导体厂 · 晶圆制造

刻蚀工艺真空系统

原进口干泵故障率高、维修贵，替换为LGB150+过滤系统

✓ 真空度稳定达标，维护成本降低60%，配件供应周期缩短

某光伏企业 · 电池片生产

PECVD真空系统

硅烷等腐蚀性气体工况，配置LGB110+吹扫保护+冷凝器

✓ 连续运行超8000小时无故障，替代进口成本节省45%

为什么可以相信我们？

专注真空设备行业 · 服务300+企业 · 覆盖半导体/光伏/锂电/食品医药

🏭

源头厂家直供

🛡️

耐腐蚀/粉尘定制

📋

替代进口方案

⚙️

系统集成能力

⚠ 选型风险提示 — LGB螺杆泵虽可处理含粉尘/可凝性气体，但过量粉尘会磨损转子，大量可凝性气体需配冷凝器；强腐蚀性气体需确认材质（可选镀镍/哈氏合金涂层）；高真空系统建议配合罗茨泵组成机组使用。建议提供详细气体成分和工艺参数，由工程师确认配置方案。

不知道怎么选？只需要做这一件事

把你知道的信息发给我们（哪怕不完整），工程师帮你补全判断

纳仕特真空泵设备(上海)有限公司

螺杆真空泵